Search results for "direct write lithography"

SU-8 viļņvadu izveide ar tiešā ieraksta lāzera litogrāfijas tehniku un to optisko īpašību raksturošana

2016

Kopš 20.gs. beigām lieli pūliņi ieguldīti telekomunikāciju attīstībā, arvien tiek meklēti jauni materiāli, lai aizvietotu elektroniskās komponentes integrētajās shēmās, jo tās ir ierobežojošais faktors informācijas pārvades ātrumam. Viens no risinājumiem būtu veidot shēmas, kas satur tikai optiskās komponentes. Optisko komponenšu pamatā ir viļņvadi, kuriem jābūt ar noteiktām optiskām īpašībām. Viena no perspektīvākajām materiālu klasēm pielietojumiem fotoniskās integrālās shēmās ir organiskie materiāli. Darbā aprakstīta tīru un funkcionalizētu organisku SU 8 viļņvadu izgatavošana ar tiešā ieraksta lāzera litogrāfijas tehniku. Ir aprakstīti viļņvadu izgatavošanas soļi un metodes ierobežojumi…